硅片夹头加热器


硅片夹头加热器

特氟龙®绝缘导电加热器组件

通过压敏粘合剂PSA，RTD温度传感器，热熔断器和带电连接器的线束粘合到加工的金属上。


晶圆加工
尽管在Chuck Technology Integrated Circuitry中采用的蚀刻箔加热技术存在应用上的相似之处，但瓦数，温度和安装方法存在足够多的变量，要求设计人员特别注意将替代的绝缘体和薄膜结合在一起，以确保成功实现绝缘。成品。例如，此加热器/散热器组件由蚀刻的箔片元件组成，该箔片元件封装在两个薄膜绝缘体的组合层压板中：一个是Kapton®聚酰亚胺，另一个是Teflon®。加热器安装在阳极氧化的散热器上，并且传感器位于中央基座上。多加热器/散热器组件集成到多端口板中，该多端口板旨在快速装载/卸载，以“烧入”计算机行业中使用的硅树脂光盘。